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第1474章加一层水(1 / 2)

于是,林致远,黄秘书再加上韩所长夫妻,还有司机,五个人就在附近找了家饭店,点了几个菜。

席间,韩所长继续讲他的光刻机技术,当他讲到目前世界上步进扫描光刻机采取的技术路线都是干式法,通过用更高级的曝光光源,来支撑技术进步到下一代。为了追求更高的分辨率,光源波长从最初的365n,到248n,再到193n,但再往下走时,这条技术路径出现了困难。大部分企业选择了在原有技术路径上改进,此时的两大光刻机巨头尼康、佳能,都选择进一步研发157n波长的光源。

韩所长说到这里里,林致远突然深吸了一口气,做出了一副不解的神态,“韩所长,我是门外汉,但是我有个问题,当然,这个问题可能是非常幼稚的,您可别笑话我。”

韩所长手一摆,“林助理,科学就是要大胆假设,小心求证,没有想象力,科学就没办法前行,你有什么问题就直说,我怎么会笑话你呢!”

林致远小心翼翼的开口了,“韩所长,我们在初中物理课上都学过,水会影响光的折射率,如果在您刚才说的步进扫描光刻机的透镜和硅片之间加一层水,就会降低光的波长,韩所长,你觉得这个方法可行吗?”

“加一层水?”韩所长整个人似乎都傻掉了,他不停的重复这四个字。

韩所长已经完全陷入到一种极度亢奋的状态中,他旁若无人在饭店里踱起步来,越走越快,嘴里还在不停的念叨着,“林助理,你知道摩尔定律吗?”

不等林致远回答,他便自己说了下去,“摩尔定律就是集成电路上可容纳的元器件的数量每隔18至24个月就会增加一倍(相应的芯片制程也会不断缩小)。而每一次制程前进,也会带来一次芯片性能性能的飞跃。”

“可是全世界的半导体研发团队都在157纳米波长技术前停滞不前,摩尔定律开始被人怀疑,你刚才说的很有可能由此继续将摩尔定律延续下去。这是一个伟大的猜想,不行,我等不急了,我要马上回去做实验。”韩所长转身就往外走,可是一只脚已经踏出饭店了,他又回过头,尴尬的一笑,“一高兴把什么都忘了,咱们没有实验室,没有相应的设备没办法做这个实验。”

他低下头继续自言自语,“一定有办法的,我必须要把这个天才的猜想变成事实。”

2002年,一位华裔林姓科学家发明了“浸润式微影技术”,彻底改变了集成电路的生产。这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中,用水代替空气以提高分辨率。当全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术时,林姓科学家创造性地以193纳米波长的光,通过水作为介质,将其缩短至134纳米,由此继续将摩尔定律延续下去。

但理论归理论,能不能从实验室真正到工厂,还需要经验丰富的设备商一起开发。林姓科学家去花旗国、东桑国、德意志、风车国跑了一大圈,向光刻机厂商兜售浸没式光刻的想法。但是,绝大部分大厂都不买账。

不买账的原因除了这项技术走得太“鬼才”,还有不少想法需要验证之外,另一个原因就是改变的沉没成本太高。当时主流的研发思路,都是在157n的干式光刻技术路径上。诸多公司已经耗费了大量财力、人力、物力,如果用这种“加水”的想法,各个研究团队就得全部重新开始,推翻原有的大部分设计。

所以巨头们对林姓科学家的态度,不仅仅是不理睬,而是封杀。尼康甚至向弯积电施压,要求雪藏林姓科学家。在现实利益面前,这样的事情还发生过很多,比如柯达其实是最早研发出数码相机的公司,但缺乏自我颠覆的勇气,因为恐惧它威胁到自己的胶片业务,反而是雪藏了数码相机。

终于当林姓科学家跑到了风车国时,阿斯麦愿意做第一个吃螃蟹的勇士。虽然阿斯麦也是从干式光刻机起家,但它想通过赛马制来赌一把,既然尼康、佳能都在死磕干式法157n光源,且进展不顺利,那这支“奇兵”的意义就是巨大的。

最终浸润式成功了。2003年,阿斯麦和弯积电合作研发的首台浸没式光刻设备——scanxt:1150i出炉,第二年又出了改进版。同年,研发进度拖慢的尼康,终于宣布了157n的干式光刻机产品样机出炉。

但此时胜负已定,一面是用原来193n光源但通过水进化到132n波长的新技术,一面是157n波长的样机,浸润式技术的优势不言而喻,这一技术成为此后65、45和32n制程的主流,推动摩尔定律往前跃进了三代。

尼康、佳能由于对技术路径的判断失误,不仅意味着几百亿研发资金打了水漂,更是在与阿斯麦的竞争中彻底落败。在2000年之前的16年里,阿斯麦虽然跻身光刻机制造第一梯队,但却是第一梯队里最小的玩家,占据的市场份额不足10%。

但自浸没式技术出现后,阿斯麦一路摧枯拉朽,全面碾压昔日巨头尼康、佳能,2008年市场占比超过60%。整个东桑国的半导体厂商,

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